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CMP Slurry Filtración

2015-03-10

Química aplanado mecánico (CMP) es un proceso de pulido utilizado para fabricar obleas para la industria de semiconductores. Se requiere el uso de una suspensión de pulido de la herramienta y el pulido. La suspensión en la herramienta debe contener pequeñas partículas / aglomerados (<1μm), Overwise para aumentar el nivel de unidades defectuosas en la superficie de la oblea de semiconductor

Una de las soluciones para disminuir el nivel de los defectos causados por las partículas grandes de lodo es a través del uso de filtración de la suspensión. A través del sistema de filtración adecuado, una gama de tamaños de partículas puede ser eliminado, sin capacidad de retención de suciedad, la tasa de flujo y otras actuaciones.

Separación Objetivos

Eliminar las partículas y aglomerados dejando componentes abrasivos

Requisitos de la solicitud

● Los filtros deben tener extraíbles bajos, no para introducir extranjeros.

● Los filtros deben ser lavados por el agua pura, para mantener TOC bajo nivel aceptable.

● filtros terminales deben mantener la retención fiable de las partículas durante un largo tiempo.

● Los filtros deben proporcionar grandes caudales constantes y resistir a satisfacer los procesos de fabricación en masa.

Recomendación

Etapa de Filtración

Recomendación

Aclaración

LEP

prefiltración

LEPF/LEGF

filtración final

LENN/LEV/LET

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